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“微电子加工用高端超纯化学品”项目启动暨实施方案咨询审议会在北京召开

11月7日,“重点基础材料技术提升与产业化”重点专项“微电子加工用高端超纯化学品”项目启动暨实施方案咨询审议会在北京召开。该项目由北京化工大学承担,我校理学院聂俊教授担任项目负责人,参加单位包括8家高校、研究所和企业单位。项目设立3个课题,执行期为2017年7月至2021年6月。项目管理单位科技部高技术研究发展中心、项目推荐单位中国石油和化学工业联合会、项目承担单位北京化工大学的领导、重点专项总体专家组专家和项目参加人员等共计40余人参加了会议。

会上成立了五位专家组成的项目专家组,并颁发了聘书。

项目及各课题负责人汇报了项目总体情况与实施方案,清华大学潘峰教授、中科院宁波材料技术与工程所黄政仁所长、中科院长春应化所周光远副所长、吉林大学张海博教授、江苏大学李华明教授五位专项总体专家出席会议并对实施方案进行了审议。专家组针对该项目实施方案进行了研讨交流,肯定了项目的意义和和前期工作,并对今后项目的具体实施提出了宝贵建议。

副校长王峰教授对于科技部的支持表示感谢,并承诺北京化工大学将积极落实法人责任,全力支持项目进行,力争取得最佳的成果。科技部高技术发展研究中心蒋志君副处长在会上强调,项目承担单位和项目负责人要积极组织和推进项目的实施,认真落实项目管理制度和责任,确保项目顺利进展和研发目标的实现。


本项目是为解决微电子行业因高端微电子化学品无法国产化而带来的安全隐患而设立,目标是突破微电子加工用高端化学品超纯化处理技术瓶颈,实现超纯化规模制备,并实现从原材料至最终产品的配套。将通过解决微电子化学品的多级结构对电子器件微观形态及光电性能的调控机制和高端微电子化学品超纯化处理等关键科学技术问题,实现从原料到产品的链条式产业化,为我国微电子行业进一步的跨越式发展做出贡献。